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    硅片的机械化学复合抛光处理

    作者:admin 发表时间:2013-08-24 人气:
      对硅片进行机械化学抛光处理,超微磨粉与碱性溶液混合而成的抛光剂以及人造皮革进行抛光,可以达到工件表面变质层很轻微的高品位镜面加工。
    硅片的机械化学复合抛光处理

      抛光压力的增加,其磨粒的机械作用的加强,抛光器与工件之间接触面积的增加,所参与的有效的磨粒量也会增加,会加大抛光加工的速度,由于机械加工的加工速度高比不同抛光液进行速度要高很多,所得到的表面粗糙度更高,机械化学抛光是一种有效的工艺加工方法。

      能够加工出超大规模的集成电路的硅片,所得到的硅微粒游离磨粒来进行硅片表面的研磨加工,整体误差以及局部厚度误差都接近于0。

    文章作者:深圳市91视频网页研磨技术有限公司
    来源:新91视频成人下载、91视频色板APP、研磨抛光机


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